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阴极发光是一种光谱分析方法，通过电（diàn）子（zǐ）束轰击材料产生发（fā）光后（hòu），用来在局部范围内鉴别材料中（zhōng）的点缺陷和（hé）杂质（zhì）缺陷，应（yīng）用于微电子，半导体材（cái）料（liào），绝缘体（tǐ），地质学和（hé）矿物学等（děng）领域。
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